Extras din curs
Tehnologia realizarii circuitelor integrate
Litografia
Un circuit integrat este o colectie de dispozitive active si componente pasive interconectate electric, realizate pe acelasi substrat de siliciu.
Componenta de baza a circuitelor integrate este tranzistorul. Initial BIPOLAR apoi MOS în final BiCMOS.
Indiferent de tipul de tranzistor, acesta se compune dintr-o succesiune de straturi diferit impurificate.
Procedeul tehnic folosit pentru realizarea acestor straturi succesive si a legaturilor dintre ele este LITOGRAFIA mai precis FOTOLITOGRAFIA
Fotolitografia se bazeaza pe acoperirea siliciului cu o substanta fotosensibila si expunerea selectiva la ultraviolete prin niste masti.
Evolutia dimensiunii detaliului minim dintr-o masca
Limita rezolutiei
Limita rezolutiei unui sistem de expunere optic este :
unde:
k1 este un parametru de proces (uzual 0.4~0.8);
NA este apertura numerica a sistemului de lentile (uzual între 0.16~0.6);
l este lungimea de unda a luminii utilizate.
Lungimea de unda a surselor de lumina folosite în litografie
Structura unui tranzistor MOS cu poarta de polisiliciu
Fotolitografia
Utilizeaza lumina pentru a expune un strat de fotorezist depus pe substrat prin intermediul unei masti.
Masca este o placa de 2mm de sticla, pe care sunt depuse regiuni opace de film de câtiva mm sau chiar mai putin.
Fotorezistul este un polimer sensibil la lumina ultravioleta. Expunerea la lumina determina fie cresterea (rezist pozitiv) fie reducerea solubilitatii (rezist negativ) în anumiti solventi.
Rezistul pozitiv asigura rezolutie mai buna, cel negativ adera mai bine la metal si la SiO2.
Conținut arhivă zip
- Circuite Integrate.ppt
Alții au mai descărcat și
Circuitele integrate peliculare sunt circuitele ale caror clemente sînt realizate prin depunerea unor pelicule pe suprafata unui material...
Dezvoltarea electronicii a condus la realizarea de echipamente tot mai complexe, care folosesc un numar mare de componente. Cresterea numarului de...
Comutarea tranzistorului bipolar Scopul lucrarii Scopul lucrarii: se studiaza regimul de comutare al tranzistorului bipolar, se masoara timpii de...
Amplificatorul operational introducere Termenul amplificator operational, introdus în 1940 se refera la un tip special de amplificator care,...
CAPITOLUL 1 Elemente de algebra booleeana Algebra Boole a fost conceputa de catre matematicianul englez George Boole (1815 ¸ 1864) ca o metoda...
Te-ar putea interesa și
Introducere Corpul uman este un sistem ierarhizat ce dispune de sisteme de autoreglare integrate. Deşi majoritatea funcţiilor sunt îndeplinite de...
Enunţul proiectului nr. 77 Să se proiecteze un convertor de cod de 4 biţi pentru conversia codului binar zecimal ponderat 7421 în codul binar...
Un circuit logic combinaţional este definit prin următoarele funcţii logice booleene: ; ; . Se cere: a) Să se exprime funcţiile f1, f2 şi f3...
1. Generalităţi Toate aparatele şi dispozitivele electrice sau electronice sunt supuse acţiunii unui ansamblu de semnale având caracteristici...
1 Caractere generele 1.1 Definiţie Porţile logice sunt circuite electronice capabile să efectueze operaţii logice simple sau compuse cu semnalele...
CAP. I. NOTIUNI DE ALGEBRA BOOLEANA 1.1. Generalitati In functionarea unei instalatii electronice, pneumatice sau hidraulice se intalnesc cazuri...
Introducere: Producția de componente electronice discrete a fost revoluționată în momentul apariției primelor circuite integrate. Aceste noi...
Tema proiectului Sa se proiecteze un stabilizator de tensiune cu circuit integrat de tipul bA723 cu tranzistor extern de putere care sa furnizeze...