Cuprins
- I. 1. Introducere 7
- I. 2. Senzori - Noțiuni introductive 7
- Caracteristicile statice 8
- Caracteristicile dinamice 10
- I. 3. Senzori de gaze 10
- I. 3.1. Clasificare și scurtă descriere a senzorilor de gaz în fază solidă 11
- I. 3.1.1. Senzori cu electrolit solid 11
- Principiul de funcționare 12
- I. 3.1.2. Senzori catalitici de combustie 13
- I. 3.1.3. Senzori de gaze pe bază de semiconductori 14
- Clasificare 15
- Proprietatea gaz-senzitivă a semiconductorilor oxidici 18
- Noțiuni de teoria semiconductorilor pentru senzori de gaze 19
- Mecanismul de funcționare 23
- Factori ce influențează proprietățile gaz-senzitive 26
- I. 3.2. Constructia unui senzor semiconductor 29
- I. 4. Metode de sinteză și Depunere a Filmelor Subțiri gaz-senzitive 32
- I. 4.1. Depunerea fizică din fază de vapori (PVD) 32
- I. 4.1.1. Metoda evaporării 32
- I. 4.1.2. Sputtering 32
- I. 4.2. Depunerea chimică din fază de vapori (CVD) 33
- I. 4.3. Procedeul sol-gel de depunere a filmelor subțiri 34
- I. 5. Senzorul semiconductor pe bază de oxid de zinc 35
- I. 5.1. Oxidul de zinc 35
- Proprietăți electrice 36
- I. 5.2. Senzori pe bază de ZnO 37
- I. 6. Studiu de caz – Comparatie între senzori ZnO 1D și 2D 40
- I. 6.1. Comparație între senzori 1d-2d pentru hidrogen 40
- I. 6.2. Comparație între senzori 1d-2d pentru etanol 42
- I. 7. Studiu de caz – Fabricarea unui senzor de gaze în strat subțire pe bază de ZnO 44
- I. 7.1. reacția sol-gel 44
- I. 7.1.1. Reactanți 44
- I. 7.1.1. Decurgerea reacției 45
- I. 7.2. Depunerea filmelor 46
- I. 7.2.1. Dip coating 46
- I. 7.2.2. Spin coating 46
- I. 7.2.3. Uscare și ciclurile de depunere 47
- I. 7.3. Tratamentul termic 48
- I. 7.3.1. Analiza probelor de ZnO (film subțire) premergătoare tratamentului termic 48
- I. 7.3.2. Parametrii procesului termic 50
- I. 7.4. Procesări ulterioare 51
- I. 8. Studiu de fezabilitate al implementării proiectului de licență (calcul economic) 51
- I. 8.1. Costul de investiție 51
- I. 8.2. Costul de producție Anuală 52
- I. 8.3. Calcul final 53
- I. 9. Concluzii 55
- Bibliografie 56
Extras din licență
Rezumat
Detecția gazelor este o necesitate curentă pentru multe aplicații de uz casnic sau industrial. Există o plajă destul de variată de soluții pentru detecția gazelor, însă cea mai potrivită metodă din punct de vedere economic și al performanțelor tehnice este folosirea materialelor oxidice gaz senzitive.
Acestea folosesc proprietățile semiconductoare (în funcție de caracteristicile oxidului: la temperatura camerei și/sau în formă pură, fie la temperaturi ridicate și/sau cu adaosuri de dopanți), în procesul gaz-senzitiv. Procesul gaz senzitiv constă în adsorbția oxigenului din amestecul de gaze (sau direct a analitului), fenomen ce va duce la o schimbare notabilă în proprietatea de conducție electrică. Odată intrat în contact cu analitul, oxigenul adsorbit reacționează cu acesta și părăsește suprafața oxidului. Această reacție duce la o nouă schimbare de conductivitate electrică, care de această dată va fi înregistrată ca semnal al detecției gazului respectiv.
Se alege pentru studiul de față oxidul de zinc ca material gaz-senzitiv, acesta fiind primul material cercetat pentru astfel de aplicații, dar nu și cel mai studiat. Este un material cu proprietăți selective și senzitive special de bune pentru hidrogen, amoniac sau etanol, deși poate detecta și oxigen și o întreagă plajă de compuși organici. Avantajele folosirii ZnO se vor afla pe parcurs printre cele mai notabil fiind costul scăzut, senzitivtate și selectivitate bună.
Pe parcursul studiului vom defini noțiuni teoretice cu privire la caracteristicile senzorilor, noțiuni de bază ce țin de teoria semiconductorilor și a mecanismului gaz-senzitiv, dar și clasificări ale senzorilor pe bază de materiale oxidice.
Totodată, dorim analizarea factorilor ce influențează performanțele senzorilor. Vom vedea că microstructura și granulometria materialului, precum și tipul structural vor fi factori de influență cruciali. Printre aceștia se vor enumera și alți factori demonstrați în literatura de specialitate ca avansări în tehnica de detecție a senzorilor.
Lucrarea cuprinde și două studii de caz menite să ne faciliteze o familiarizare cu senzorii de gaze pe bază de ZnO. Vom vedea că deși senzorii unidimensionali de ZnO au performanțe mult mai crescute, cercetările sunt încă în stadiu incipient în ceea ce îi privește, fapt ce face ca senzorii în strat subțire să fie pentru moment soluția fiabilă. În al doilea studiu de caz vom investiga un proces tehnologic de obținere a straturilor subțiri gaz-senzitive de ZnO prin metoda sol-gel.
Lucrare se va termina cu un studiu de fezabilitate menit să evalueze gradul de implementare al prezentei lucrări într-un scenariu de afacere.
I. Partea de documentare tehnică
SENZORI DE GAZE PE BAZĂ DE ZnO
I. 1. INTRODUCERE
În această primă parte a lucrării, cea a studiului de documentare tehnică, se obiectivul studiului îl are înţelegerea tehnologiei ce stă la bază funcționarii senzorilor pe bază de ZnO, dar și noțiuni ce cuprind construcția şi obținerea lor. Așa cum se va observa, senzorul de gaze pe bază de ZnO este un senzor din categoria materialelor oxidice semiconductoare, al cărui parametru senzitiv este conducția electrică.
Pentru a înțelege tehnologia acestor senzori, vom trata mai întâi o mică parte de teorie legată de senzori aplicativă domeniului nostru de studiu, vom clasifica și descrie pe scurt tipurile de senzori de gaze pe bază de materiale oxidice sau ceramice urmând să ne folosim apoi de aceste noțiuni pentru a înțelege, compară și descrie categoria din care face parte senzorul pe bază de ZnO. Documentarea cuprinde și două studii de caz referitoare la senzorii pe bază de ZnO, în care se vor discuta avantaje şi dezavantaje ale acestui senzor sau ale tipurilor constructive ale acestuia.
I. 2. SENZORI - NOȚIUNI INTRODUCTIVE
Senzorul reprezintă un dispozitiv tehnic care reacționează la anumite proprietăți fizice sau chimice ale mediului din preajma lui. Ca parte componentă a unui aparat sau sistem poate măsura/înregistra de exemplu: presiunea, umiditatea, câmpul magnetic, accelerația, forța, intensitatea sonoră, radiații etc.
Senzorii cunosc o imensă varietate de categorii, în funcție de tipul lor și de mărimea fizică la care sunt sensibili. Stimulii pot fi mecanici (presiune, șoc mecanic), termici, electromagnetici, acustici sau chimici la origine, în timp ce semnalul măsurabil este tipic de natură electrică, deși pot fi de asemenea folosite semnale pneumatice, hidraulice și optice. Având în vedere tema lucrării de față, în continuare, se va face referire numai la senzorii chimici sau chemosenzitivi.
Conform definiţiei date de IUPAC [1], un senzor chimic este un instrument care transformă o informaţie chimică, (care variază între o informaţie privind concentraţia unui anume component la analiza totală a unui amestec) într-un semnal util din punct de vedere analitic. O altă sursă din literatură [2] definește senzorii chimici că instrumente de dimensiune mică, compuse dintr-un element de recunoaştere, unul de traducere şi un procesor de semnal, capabil să indice continuu şi reversibil o concentraţie chimică (în cazul acestei definiții se observă o abordare specifică mediilor de cercetare din domeniul electronic). O altă definiție, formulată mai mult din punct de vedere economic, caracterizează senzorii că instrumente de mărime mică capabile de a reda continuu și reversibil o concentrație chimică [2, 3].
Un senzor chimic funcționează prin îndeplinirea a două funcții:
• interacțiunea specifică cu proprietatea analitul;
• posibilitatea de a transforma această proprietate în semnal măsurabil.
Cele mai importante avantaje ale senzorilor sunt:
• senzorii specializați pot substitui metodele analitice clasice, fiind mai rapizi si mai preciși;
• cantitățile analitului pot fi urmărite automat, în timp real;
• sunt soluții de analiză portabile (utilitate).
În tabelul I.1. putem urmări o bună parte din aplicațiile senzorilor, în sectorul specific detecției gazelor [4].
Bibliografie
[1] S. Mihaiu, „Characterization Of The Zno Thin Films Obtained By Chemical Route”, Optoelectronics And Advanced Materials – Rapid Communications Vol. 3, No. 9, September 2009, P. 884 - 890
[2] A. Ahmadi Daryakenari, „Preparation And Ethanol Sensing Properties Of Zno Nanoparticles Via A Novel Sol-Gel Method”, Volume 2012, Article Id 879480, 6 Pages
[3] H.F. Hussein, „Preparation Zno Thin Film By Using Sol-Gel-Processed And Determination Of Thickness And Study Optical Properties”, J. Mater. Environ. Sci. 2 (4) (2011) 423-426
[4] R. Baranyai, „Preparation And Characterization Of Zno And Tio2 Sol-Gel Thin Film Deposited By Dip Coating”, Hungarian Journal Of Industrial Chemistry Veszprem, Vol. 37 (2) Pp. 131-137, 2009
[5] Mukhtar Effendi, „Effect Of Doping Fe On Tio2 Thin Films Prepared By Spin Coating Method”, International Journal Of Basic & Applied Sciences Ijbas-Ijens Vol: 12 No: 02
[6] Galatsis K., „Sol-Gel Prepared Moo3-Wo3 Thin Films For O2 Gas Sensing”, Sensors And Actuators B 77 (2001) 478-483
[7] F.E. Ghodsi, „Comparative Study Of Zno Thin Films Prepared By Different Sol-Gel Route”, Acta Physica Polonica A No. 4, Vol. 118 (2010)
[8] E.J. Luna-Arredondo, „Indium-Doped Zno Thin Films Deposited By The Sol–Gel Technique”, Thin Solid Films 490 (2005) 132 – 136
[9] Daoli Zhang, „Microstructure And Electrical Properties Of Antimony-Doped Tin Oxide Thin Film Deposited By Sol–Gel Process”, Materials Chemistry And Physics 98 (2006) 353–357
[10] Farley N.R.S., „New Sol-Gel Synthesis Of Ordered Nanostructured Doped Zno Films”, Arhiva Cornell Univeristy Library, Http://Arxiv.Org
[11] Saranya Sathananthan, „Hydrogen-Sensing Characteristics Of Palladium-Doped Zinc-Oxide Nanostructures”, Nanoscape Volume 6, Issue 1, Summer 2009
[12] Sumetha Suwanboon, „Fabrication And Properties Of Nanocrystalline Zinc Oxide Thin Film Prepared By Sol-Gel Method”, Songklanakarin J. Sci. Technol. 30 (1), 65-69, Jan. - Feb. 2008
[13] S. Ilican, „Preparation And Characterization Of Zno Thin Films Deposited By Sol-Gel Spin Coating Method”, Journal Of Optoelectronics And Advanced Materials Vol. 10, No. 10, October 2008, P. 2578 - 2583
[14] Harish Bahadur, „Morphologies Of Sol–Gel Derived Thin Films Of Zno Using Different Precursor Materials And Their Nanostructures”, Nanoscale Res Lett (2007) 2:469–475
[15] Nanda Shakti, „Structural And Optical Properties Of Sol-Gel Prepared Zno Thin Film”, Applied Physics Research, No. 1, May 2010
[16] V. Musat, „Sol Gel Porous Zno Thin Films For Gas Sensing Applications”, Journal Of Optoelectronics And Advanced Materials Vol. 9, No. 5, May 2007, P. 1395 - 1398
[17] Kyoungwon Kim, „Preparation And Analysis Of Schottky Diodes With Au And Sol-Gel-Processed Zno Thin Films”, Journal Of The Korean Physical Society, Vol. 55, No. 1, July 2009, Pp. 140-143
[18] Wasan R. Saleh, „Synthesis Sol-Gel Derived Highly Transparent Zno Thin Films For Optoelectronic Applications”, Advances In Materials Physics And Chemistry, 2012, 11-16
[19] F.I. Ezema, „Effect Of Annealing Temperature On The Structural And Optical Properties Of Zinc Oxide (Zno) Nanocrystals Prepared By Sol Gel”, Digest Journal Of Nanomaterials And Biostructures Vol. 5, No 4, October-December 2010, P. 981 - 988
[20] Wikipedia, The Free Encyclopedia – Triethanolamine
[21] Wikipedia, The Free Encyclopedia – Ethanol
[22] I. Teoreanu (coord.), Calcule de operații, utilaje și instalații termotehnologice în industria silicaților (Probleme și exemple de proiectare), Editura Didactică și pedagogică, București, 1983
[23] Wikipedia, The Free Encyclopedia – Zinc Acetate
[24] Dow Chemical Company - „Fișe De Date De Siguranță Ale Materialului - Msds” - Etanolamine
[25] Dow Chemical Company - „Fișe De Date De Siguranță Ale Materialului - Msds” - Acetona
[26] Sukumar Basu, “Nanomaterials And Chemical Sensors”, Sensors & Transducers Journal, Vol. 134, Issue 11, November 2011, Pp. 1-31
[27] Site-ul nist.gov, Fișă de date de siguranță – acetat de zinc
[28] James T. Hughes, Alexandra Navrotsky, Enthalpy of formation of zinc acetate dihydrate, The Journal of Chemical Thermodynamics, Volume 43, Issue 6, June 2011, Pages 980-982
[29] Zircar ceramics, companie producătoare, catalog produs SALI http://www.zircarceramics.com/pages/rigidmaterials/specs/sali.htm
[30] Zircar ceramics, companie producătoare, catalog produs ASH http://www.zircarceramics.com/pages/rigidmaterials/specs/ash.htm
[31] Peter Atkins, Julio da Paula, Chimie Fizică, ediția a 2-a, Editura AGIR, București, 2003
[32] David R. Lide, CRC Handbook of chemistry and physics, ediția a 86-a, Boca Raton, 2005
[33] Zircar Ceramics, Manual specificații tehnice electrozi MoSi2: http://www.zircarceramics.com/pages/elements/specs/molydis.htm
[34] Hally Instruments, Manual specificații tehnice agitator magnetic model 05: http://hallyinstruments.tradeindia.com/magnetic-stirrer-with-hot-plate-241945.html
[35] Chemat Scientific, Manual de specificații tehnice spin coater KW-4A: http://www.chemat.com/chematscientific/KW-4A.aspx
[36] MTI Corporation, Manual de specificații tehnice etuvă: http://www.mtixtl.com/forcedairconvectionoven18x18x1470liters250cmaxwithdigitaltemperaturecontroller-ov-wg71-110-1.aspx
[37] Nabertherm, Manual specificații tehnice: http://www.nabertherm.com/produkte/details/en/labor_profikammeroefen
Preview document
Conținut arhivă zip
- Senzori de gaz pe baza de ZnO.docx